谈谈我对纳米压印技术的看法

随着AR/VR随着行业的兴起，纳米印刷迎来了他的另一个春天，我相信随着显示技术的发展，将会有下一个春天。因此，我想借这篇文章来谈谈我对纳米印刷技术的看法。本文不禁止学术报告。请理解不准确的地方。欢迎批评和纠正！

我主修材料。我第一次听说纳米压印是在八年前攻读硕士学位的时候。当时我刚赶上LED当行业非常火爆时，蓝宝石衬底图形化采用纳米压印技术进行（PSS）技术技术非常流行，所以当时对纳米印刷的认知相对肤浅，但他只是认为这是一种图形措施没有什么不同（当然，当时对光刻的理解还不够）。随着工作进入工作岗位，我们真的处理了一群需要纳米压印的人。有国内知名显示面板制造商、防伪领域领先企业、新显示技术制造商、5家G目前非常流行的光通信芯片制造商、图像传感器研发企业和3D结构光、AR/VR(如下图1所示AR/VR企业等应用场景)。我的观点如下：

图1 AR/VR医疗应用场景

1. 纳米压印取代光刻集成电路还有很长的路要走。早期纳米压印被认为是一种非常有前途的图形技术，并声称未来将取代光刻集成电路。当时，我们只看到其分辨率高、成本低的特点，有选择地避免了纳米压印模板制造、对准等问题，现在这些问题仍然存在，所以想取代集成电路复杂工艺水平的光刻，现在不能，短期内不能；

2. 简单3的纳米压印D批量加工微纳米结构图具有优势， 我们通常所说的光刻技术是基于二维平面的加工方法，即使我们可以通过一些后续的辅助工艺（如选择性蚀刻、热回流）获得一些3D或者准确地说www.platosclosethumble.com结构(如金字塔结构、微针结构、微镜结构等)，但这些手段的特点是可控性低(或工艺窗口小)。当然，我们可以使用类似激光或电子束的灰度光刻来制作一些闪光格栅（如下图2所示）、菲涅尔透镜和其他结构，但它仍然非常困难，效率和处理风险也非常高。

图2 闪光光栅结构

我们刚才说这种结构的加工成本很高，光刻和纳米压印的结合是一个很好的选择，因为虽然这种结构的加工成本很高，但它可以在制作成纳米压印模板后批量甚至生产。这种效率是光刻无法比拟的。

图3 菲涅尔透镜

3. 大面积简单图形重复结构的加工和严格的成本控制。在这里，我们常见的简单重复结构，如纳米柱阵列、孔阵列、光栅结构、六边形蜂窝结构（如下图4所示）等。这些结构的特点是单个图形加工不难，但面积大导致加工成本高。此时，我们可以通过制作纳米压印板获得，纳米压印将很好地控制成本。

图4 蜂窝结构

4. 曲面上的微纳米结构加工，我们知道现有的光刻技术几乎都是基于平面衬底加工的，但在实际使用中，我们经常会遇到一些微结构需要在球面或柱面上加工。对于光刻来说，研发工具夹具需要很大的成本，而不需要花费大量的精力。然而，随着纳米压印技术的发展，每个家庭都有自己的软膜技术。软膜可以在一些曲率半径较大的衬底上制作微结构（如下图5所示），也可以避免衬底上的一些颗粒缺陷。此外，柔性衬底上的微结构加工(如下图6所示)也是纳米压印的最大优点之一。

图5 透镜表面加工微结构图6 柔性光学膜具有微纳结构

以上介绍了纳米压印的几个特点和潜在应用。虽然感觉很有优势，但需要知道以下特点也是制约纳米压印的难点:

1. 模板加工严重依赖于光刻技术。目前的模板加工大多依赖于光刻，特别是纳米结构，几乎不能绕过电子束光刻等手段，导致压印模板价格昂贵。

2. 纳米压印底胶问题，我们知道光刻胶会有一些残留胶（也称为底胶，见文章剥离章节底胶工艺），这种残留胶有时会影响设备的电气性能，纳米压印也是如此，纳米压印残留胶会比光刻更严重，在一些特殊的地方不想出现底胶需要去除底胶（如下图7所示）。

图7 斜光栅压印后的底胶

3. 针对这个问题，我们知道跨规模加工是当前加工的痛点之一。目前，套筒雕刻等技术是解决大面积问题的有效途径之一，这意味着我们需要高精度，这往往取决于我们的对准技术。与电子束光刻或紫外光刻不同，现有纳米压印技术的对准仍然没有很好的开云（中国），虽然我们认为我们可以使用紫外线雕刻上的光学对准或莫尔条纹技术，但别忘了纳米压印没有固化和垂直压印运动过程，因此会带来多向偏差（X-Y，旋转和倾斜偏差)。

以上是个人对纳米压印的看法和介绍。如果您对纳米压印的应用或纳米压印模板制版技术感兴趣，欢迎与我沟通。

谈谈我对纳米压印技术的看法 希望这篇文章对您有帮助.

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